湿化学品是欧美及我国台湾地区的称呼（更为普遍），国际上又称工艺化学品，我国习惯称其为超净高纯试剂，其是超大规模集成电路、平板显示、太阳能电池等制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一。湿化学品一般要求超净和高纯，对生产、包装、运输及使用环境的洁净度都有极高要求。按照组成成分 和应用工艺不同可将湿电子化学品分为通用湿化学品和功能性湿化学品两大类。

01那么功能湿电子化学品是什么？

功能湿化学品是指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的配方类或复配类化学品。主要包括显影液、剥离液、清洗液、刻蚀液、电镀液等。由于多数功能湿化学品是复配的化学品，是混合物，它的理化指标很难通过普通仪器定量检测，只能通过应用手段来评价其有效性，近几年来功能湿化学品的需求比例明显增加。简单的理解就是复配产品，功能湿电子化学品指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的复配类化学品，包括蚀刻液、清洗液、光刻配套试剂等，常用于半导体刻蚀、清洗等工艺中。

功能湿电子化学品的控制难点和关键点就在于复配工艺。

02功能湿电子化学品国家标准。

湿化学品SEMI标准：

进入 21 世纪，国际 SEMI 标准化组织根据湿化学品在世界范围内的实际发 展情况按品种进行分类，每个品种归并为一个指导性的标准，其中包括多个用于不同工艺技术的等级。

湿化学品 SEMI 国际标准等级

可以看出，湿化学品制备的关键在于控制并达到其所要求的杂质含量和颗粒 度。为使湿化学品的质量达到要求，需从多个方面同时进行保障，包括试剂的提 纯、包装、供应系统及分析方法等。目前，国际上普遍使用的提纯工艺有十余种， 它们适用于不同成分、不同要求的湿化学品的生产，例如，蒸馏、精馏、连续精 馏、盐熔精馏、共沸精馏、亚沸腾蒸馏、等温蒸馏、减压蒸馏、升华、化学处理、 气体吸收等。湿化学品在运输过程中极易受污染，所以湿化学品的包装及供应方 式是湿化学品使用的重要一环。特别是颗粒控制的相关技术，它贯穿于湿化学品 生产、运输的始终，包括环境控制、工艺控制、成品包装控制等各个环节。目前，国际上制备 SEMI- Grade1 到 SEMI- Grade5 级湿化学品的技术都已经 成熟。随着集成电路制作要求的提高，对工艺中所需的湿化学品纯度的要求也不断提高。

国内湿化学品标准：

国内湿化学品企业部分拥有自己的企业标准。20 世纪 90 年代中后期，国内 当时生产、研制湿化学品最大的机构——北京化学试剂所曾提出了 BV 系列标准。此标准至今仍对国内湿化学品标准有着

不小的影响。BV 系列标准按 BV-Ⅰ、BV- Ⅱ、和 BV-Ⅲ等来划分，具体见表：

我国还有部分企业采用的电子化学试剂按照纯度划分的三个等级。

部分企业纯度标准：

UP-S 级、 UP 级、EL 级三个等级。 （1）UP-S 级UP-S 级适用 0.35~0.8 微米集成电路加工工艺，金属杂质含量小于 1ppb，经 过 0.05 微米孔径过滤器过滤，控制 0.2 微米粒子，在 100 级净化环境中灌装达到 SEMI C8 标准。 （2）UP 级 UP级适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺，金属杂质含量小于10ppb， 经过 0.2 微米孔径过滤器过滤，控制 0.5 微米粒子，在 100 级净化环境中灌装， 达到 SEMI C7 标准。 （3）EL 级 EL 级金属杂质含量小于 100ppb，控制 1 微米粒径粒子，达到 SEMI C1 标 准，适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺。

--THE NED--

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